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精密定位系統(tǒng)/平移臺

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顯微鏡物鏡掃描臺
顯微鏡物鏡掃描臺：上海昊量推出的物鏡掃描臺采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺硅傳感器使平移臺擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺的精度可以達(dá)到亞納米，底噪低至10pm。

型號：廠商性質(zhì)：代理商
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納米平移臺（壓電馬達(dá)型，10-1500mm行程）
XLS系列線性位移平臺，是由超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動，速度可達(dá)到200mm/s，并且該平臺非常適用于掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩(wěn)定性低于2%。納米平移臺（壓電馬達(dá)型，10-1500mm行程）

型號：廠商性質(zhì)：代理商
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超小型平移臺（亞微米，15mm，已集成電路）
AU-M3-LS系列位移平臺，是一款集動力系統(tǒng)、位置傳感器和控制器于一身的微型位移平臺。其中動力系統(tǒng)采用目前很小的壓電SQL-RV-1.8壓降直線微電機(jī)（2.8 x 2.8 x 6 mm）和業(yè)界內(nèi)很小的壓電馬達(dá)NSD-2101驅(qū)動IC（1.8 x 1.8 mm）。集成到定制模塊上可以提供之前難以想象的運(yùn)動性能。超小型平移臺（亞微米，15mm，已集成電路）

型號：廠商性質(zhì)：代理商
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微型二維壓電馬達(dá)線性平移臺
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的二維平移臺主要是為在計量學(xué)中樣品的精確操控和顯微鏡等應(yīng)用而設(shè)計的。推出的二維平移臺主要分為以下兩種。1）. 緊湊型二維壓電馬達(dá)平移臺AUXY-XLS 2）.大推力二維壓電平移臺AUXY-XSS 微型二維壓電馬達(dá)線性平移臺

型號：廠商性質(zhì)：代理商
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