基本原理

激光曲率法

基于Stoney公式

主要方法

采用雙波長激光對樣品進行掃描測量

635 nm/670 nm 波長/ ≤5mW

主要功能

自動測量晶圓樣品輪廓形貌、弓高、翹曲度、曲率半徑和薄膜應力

薄膜應力測試范圍

1- 10000 MPa

曲率半徑測試范圍

2- 20000 m

曲率半徑重復精度

≤±1 % @1σ（曲率半徑≤20 m）

≤±2.5 % @1σ （曲率半徑 ≤ 200 m）

掃描步長

0.1 mm

樣品尺寸

子型號M6-標配6 英寸，向下兼容4、3、2 英寸子型號M8-標配8 英寸，向下兼容6、4、2 英寸

子型號M12-標配12英寸，向下兼容8、6、4 英寸

樣品臺

電動旋轉+水平位移樣品臺

樣品基片校正

可數據處理校正原始表面不平影響（對減模式）

電源

110-220 VAC & 200 Watts Maximum

通訊連接端口

USB 3.0

工作溫度

室溫

操作軟件

可視化2D/3D顯示晶圓輪廓形貌、弓高、翹曲度、曲率半徑和薄膜應力分布；一鍵自動生成檢測報告；視窗界面/適用于Windows 10

系統

操作電腦

標配品牌臺式一體機：

顯示器：≥21英寸，≥8 G內存，CPU ≥ 2.5 GHz，≥512 G硬盤

外形尺寸

～850 寬×550深×450 高 mm

重量

~ 35 K g

質量保證

一年免費/終身維護

備注

以上所列技術規格與參數更新恕不另行通知，如有疑問請聯系我們