193nm紫外波前傳感器（512x512高相位分辨率）助力半導(dǎo)體/光刻機(jī)行業(yè)發(fā)展！

摘要：

昊量光電聯(lián)合法國Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率（512x512）波前分析儀!該波前傳感器采用Phasics公司技術(shù)-四波橫向剪切干涉技術(shù)，可以工作在190-400nm波段，消色差，具有2nm RMS的相位檢測(cè)靈敏度，能夠精確測(cè)量紫外光波前的細(xì)微變化。SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學(xué)元件表征（DUV光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域）和表面檢測(cè)（透鏡和晶圓等）。

193nm 紫外波前傳感器（512x512 高相位分辨率）在半導(dǎo)體/光刻機(jī)行業(yè)中具有重要作用。該傳感器具有高分辨率，消色差，對(duì)震動(dòng)不敏感，高靈敏度（2nm RMS）等特點(diǎn)，可以為半導(dǎo)體制造和光刻機(jī)技術(shù)提供關(guān)鍵波像差數(shù)據(jù)，有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，推動(dòng)行業(yè)的發(fā)展。

在光刻機(jī)行業(yè)中，高精度的波前傳感器是關(guān)鍵組件之一。它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和校正光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)中的誤差，從而提高光刻質(zhì)量和成品率。這款新的紫外波前傳感器的推出，將進(jìn)一步提升光刻機(jī)的性能，加速半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。

波前傳感器原理介紹：

193nm波前分析儀采用四波橫向剪切干涉技術(shù)，該技術(shù)是一種用于測(cè)量激光波前、光刻物鏡波像差，光學(xué)元器件面型表征的技術(shù)，其原理是測(cè)試光波經(jīng)過兩個(gè)正交（0、π）的相位光柵，獲得四個(gè)干涉光束，四束光兩兩干涉，通過測(cè)量這四個(gè)干涉光束的干涉后的光強(qiáng)分布來計(jì)算光波的相位分布。該技術(shù)采用0和π的二維光柵作為分光器件，利用該二維光柵將測(cè)試光分為四束，并使它們發(fā)生橫向剪切干涉，得到的單幅載頻干涉圖中包含兩正交方向的差分波前信息，通過特定的分析和定量計(jì)算（反傅里葉變換）可實(shí)現(xiàn)瞬態(tài)波前檢測(cè)。

波前傳感器主要功能介紹：

一、光學(xué)和光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量

1.1 光刻物鏡和光學(xué)鏡頭計(jì)量

Phasics的四波橫向剪切干涉測(cè)量 （QWLSI） 波前傳感技術(shù)的功能允許測(cè)量高數(shù)值孔徑光束(Up to NA:0.95)，而無需任何中繼光學(xué)器件。這一優(yōu)勢(shì)簡化了測(cè)量設(shè)置。在單次拍攝中，同時(shí)測(cè)量波前誤差 （WFE）和調(diào)制傳遞函數(shù) （MTF）。物鏡、子組件和zui終組件的鑒定是完整且易于實(shí)施的。事實(shí)上，SID4波前傳感器只需放置在聚焦后幾毫米處的發(fā)散光束中。測(cè)量后，借助 Phasics 軟件模塊 Design Pro，波前測(cè)量可以與理論 Zemax 模擬進(jìn)行比較。

1.2 復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)/計(jì)量

參考球體或顯微鏡物鏡可以很容易地放置或擰到R-Cube模塊的出口處。在此配置中，點(diǎn)源創(chuàng)建一個(gè)發(fā)散光束，該發(fā)散光束注入被測(cè)系統(tǒng)中。實(shí)時(shí)波前顯示允許監(jiān)控和優(yōu)化光學(xué)對(duì)準(zhǔn)。

1.3面型檢測(cè)

當(dāng)集成到反射裝置中時(shí)，Phasics SID4波前傳感器可以執(zhí)行面型檢測(cè)。Kaleo 軟件輸出3D 曲面圖和凸面或凹面（如透鏡、鏡子或模具）的曲率半徑。ISO 10110 標(biāo)準(zhǔn)定義的所有表面質(zhì)量參數(shù)，如表面不規(guī)則度、粗糙度和波紋度，都是從該測(cè)量中計(jì)算得出的。也可以在任何方向上提取表面輪廓，并且可以將結(jié)果與理論表面進(jìn)行比較。

二、激光測(cè)試和自適應(yīng)光學(xué)控制

Phasics的波前傳感器以其高分辨率（512x512）和易用性而著稱。一臺(tái)儀器可以涵蓋廣泛的用途：光束測(cè)試、光學(xué)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)、自適應(yīng)光學(xué)和等離子體表征。Phasics SID4波前傳感器為超快激光研究實(shí)驗(yàn)室和激光制造環(huán)境中的研發(fā)工程師、生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)和研究人員提供了全面的多功能性。使用自適應(yīng)光學(xué)器件對(duì)光束進(jìn)行鑒定和校正可以在從紫外到長波比橡膠的任何類型的激光系統(tǒng)上進(jìn)行：連續(xù)高功率、飛秒太瓦和拍瓦鏈、固態(tài)激光器、OPCPA、氣體激光器、可調(diào)諧激光器等。

2.1 激光檢測(cè)

SID4 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合，可對(duì)激光進(jìn)行完整的診斷：波前像差、強(qiáng)度分布、激光束質(zhì)量參數(shù)（M2、發(fā)散角、束腰等）。Phasics 的波前分析儀可以定位在光學(xué)裝置的任何點(diǎn)，無論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的。Phasics SID4波前傳感器適用于從紫外（190nm）到遠(yuǎn)紅外(14um)的任何連續(xù)或脈沖激光。

2.2 自適應(yīng)光學(xué)

Phasics波前分析儀可與任何可變形光學(xué)器件兼容：如壓電可變形鏡、機(jī)械可變形鏡、電磁可變形鏡和MEMS可變形鏡以及空間光調(diào)制器和自適應(yīng)透鏡。為了校正超快激光，Phasics自適應(yīng)光學(xué)環(huán)路通過波前像差補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)精細(xì)的校正。OASys 自適應(yīng)光學(xué)環(huán)路結(jié)合了 Phasics 高分辨率 SID4 波前傳感器和適合項(xiàng)目要求的可變形反射鏡設(shè)備，OASys可實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。

波前傳感器產(chǎn)品分類介紹：

1）190-400nm紫外波前傳感器

2）400-1100nm可見光-近紅外波前分析儀

3）900-1700nm短波紅外波前分析儀

4）3-5um & 8-14um中遠(yuǎn)紅外波前傳感器

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù)。