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193nmDUV深紫外單縱模固體激光器

簡要描述:193nmDUV深紫外單縱模固體激光器,光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該193nm激光器的中心波長可在185和194 nm之間的范圍內定制,訂購時可配置為固定波長。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-11-18
  • 訪  問  量:179
詳細介紹
品牌昊量光電產地類別國產
應用領域綜合

德國xiton photonics公司是二極管泵浦固體激光器非線性光學器件的專家。可以開發和制造幾乎任何所需波長的可靠激光系統,重點開發193nm的DUV深紫外固體激光器,總部位于德國,擁有20多年的激光器研發經驗。


193nmDUV深紫外單縱模固體激光器:        

        IXION 193 SLM是一款單頻全固態激光系統,適用于光學計量、193納米光學系統校準或高功率ArF準分子激光器帶寬控制等應用。光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該193nm激光器中心波長可在185和194 nm之間的范圍內定制,訂購時可配置為固定波長。



        

193nmDUV深紫外單縱模固體激光器參數:




Wavelength/波長

193.368 nm

Average power/平均功率

10 mW

Pulse duration/脈寬

typ 8-12 ns

Energy per pulse/單脈沖能量

1.6 µJ

Repetition rate/重復頻率

1-15 kHz

beam quality/光斑質量

M2 < 1.6

Spectral bandwith/譜寬

< 80 MHz

Spectral tunability/光譜可調諧范圍

> 10 pm

coherence length/相干長度

> 2 m

Pulse to pulse stab./脈沖穩定性

σ < 2.5 %

產品特點:

波長穩定性


長時間功率穩定性


光斑質量


光譜特性


產品應用:



  • 193 nm 計量/193 nm metrology

  • 光譜儀校準/Spectrometer calibration

  • 干涉度量/Interferometry

  • 準分子激光器種子源/injection seeding of excimer lasers


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