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品牌	昊量光電	產(chǎn)地類別	進口
應用領(lǐng)域	綜合

DUV汞氙燈照明光源

昊量光電新推出汞-氙混合氣體放電紫外照明光源，因其高穩(wěn)定直流電源驅(qū)動控制，而且沒有熱漂移，所以能提供穩(wěn)定的紫外照明。它允許對燈泡、反射鏡和集光器進行精確、可重復的調(diào)整，能實現(xiàn)很好的對準。非常適合用于晶圓檢測、光學檢查和光掩模分析，特別是用于檢測精細的結(jié)構(gòu)和線寬是否有錯誤和缺陷。

DUV汞氙燈照明光源產(chǎn)品的特點：

無熱漂移
可重復的機械調(diào)節(jié)
點火器集成在燈罩中
緊湊的燈箱
安全電路功能

應用的領(lǐng)域：

光罩的光學檢查和分析用照明，特別是結(jié)構(gòu)和線寬的錯誤或缺陷
晶圓檢測
凈化去污

無集光器燈罩lh-qx 100.60的深紫外光譜光譜

燈罩lh-qx-100.60
固定方式	燈罩通過法蘭或燕尾，燈頭通過燈頭適配器進行X、Y調(diào)節(jié)
點火裝置	集成高壓點火裝置
反射器	X, Y, Z可調(diào)節(jié)反射鏡
集光器	Z軸可調(diào)節(jié)
安全	符合EN 61010-1
設(shè)備防護等級	I
防護等級	IP 20 (EN 60529)
安全電路	有

鎮(zhèn)流器 ebqx 100
特點	控制100 W 汞氙燈泡
燈泡型號	HAMAMATSU L8029-01, L2422-01
燈泡連接	M1 6+PE socket, Schaltbau
安全	安全電路，過溫保護

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關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司憑借強大的本地化銷售網(wǎng)絡(luò)與專業(yè)技術(shù)支持團隊，長期服務于國內(nèi)數(shù)以萬計工業(yè)及科研客戶，涵蓋半導體、生物醫(yī)療、量子科技、精密制造、生物顯微、物聯(lián)傳感、材料加工、光通訊等前沿領(lǐng)域。

昊量光電擁有的專家級的軟硬件開發(fā)團隊及豐富的行業(yè)應用經(jīng)驗，可提供：

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DUV汞氙燈照明光源

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