| 品牌 | 昊量光電 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
XVS系列高精度納米級垂直定位臺采用單Crossfixx™超聲壓電電機驅動，適用于光學對準、真空腔體精密定位。
XVP系列工業級高負載垂直定位臺采用雙Crossfixx™超聲壓電電機并聯，負載2.5kg，適用于重型裝配、高速檢測等場景。
高精度垂直壓電位移臺優勢
大行程10-50mm
分辨率5-1250nm
重復精度50-80nm
大負載可達2.5kg
XVS系列高精度垂直壓電位移臺核心參數表
型號 | 行程范圍 (mm) | 驅動力（N） | 分辨率 (nm) | 重復精度 (nm) | 速度（max）(mm/s) |
XVS-1-40 | 25(SC版30) | 1 | 1250/312/78/5 | ±80(單向) / ±160(雙向) | 100(真空50) |
XVS-3-40 | 25(SC版30) | 3 | |||
XVS-3-60 | 40(SC版48) | 3 | |||
XVS-3-80 | 50(SC版69) | 3 | 50(真空25) | ||
環境使用要求 | 工作溫度-30℃~+70℃ 濕度要求20%-90% RH | ||||
XVS系列垂直位移臺
·定位：高精度納米級垂直定位平臺，為輕載精密應用設計。
·核心特點：
·采用單Crossfixx™超聲壓電電機，實現無振動、靜音操作。
·斷電自鎖功能，斷電后仍保持位置穩定。
·可選質量補償模塊（MC1-MC4），負載能力提升至350g。
·兼容HV/UHV真空環境，熱耗散<5W，適合穩定納米定位。
XPS系列垂直位移臺核心參數表
型號 | 行程范圍 (mm) | 驅動力（min)（N） | 分辨率 (nm) | 重復精度 (nm) | 速度（max）(mm/s) |
XVP-80 | 10 | 15 | 1250/312/78/5 | ±50(雙向) /±2500(雙向) | 50/100 |
環境使用要求 | 工作溫度-30℃~+70℃ 濕度要求20%-90% RH | ||||
XPS系列垂直位移臺
·定位：高負載、高速垂直運動平臺。
·核心特點：
·雙Crossfixx™電機并聯，驅動力達15 N（保持力30 N），負載能力2.5 kg。
·12V低電壓驅動，適合嵌入式系統集成。
·可選低磁/非磁軸承（-LM/-NM），減少磁場干擾。
關鍵選型建議：
5nm分辨率型號必須搭配XD-M控制器
UHV版本需指定無護套電纜和特殊連接器
超過100g負載建議采用MC1-4補償方案
·需納米級定位：選擇XVS-3-40-5-HV（5 nm分辨率，25 mm行程）。
·需高速大負載：選擇XVP-80-1250（1250 nm分辨率，1000 mm/s速度）
應用場景
·光學系統校準
·真空環境應用
·生物樣本操作
·生產線高速檢測
1000 mm/s掃描速度實現PCB板缺陷快速篩查。
·重型裝配
機器人末端執行器搬運2.5 kg光學元件（雙電機30N保持力防滑落）。
·醫療設備驅動
手術機械臂的垂直進給（12V低壓安全驅動，非磁軸承避免MRI干擾）。
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