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納米級高速大行程壓電馬達平移臺

AU-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。

該平移臺采用無聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動，促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動，每個循環(huán)的進給為幾個納米，高頻的信號，可以使轉(zhuǎn)子高速的運動。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的zui大速度可達到400mm/s。

理論上壓電馬達平移臺的行程僅取決于轉(zhuǎn)子的長度，因此AU-XLS系列位移平臺可提供的行程范圍可達94mm，采用線性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制，使位移平臺的位移分辨率可達到78nm，在滿足大行程的同時實現(xiàn)了高的精度。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預加力，因此斷電之后平移臺會有自鎖功能，使位移平臺依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量，提高了位移平臺的精度。

此外，由于該平臺采用模塊化設(shè)計，因此該平移臺可以組成多維位移平臺，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。

主要特點：

l  大行程 （92mm）

l  高精度（78nm）

l  高速度（400mm/s）

l  支持斷電自鎖

l  可在真空和非磁環(huán)境

主要應用：

l  光電子學

l  掃描電子顯微鏡

l  半導體生產(chǎn)

l  醫(yī)學和材料科學

l  生命科學與生物技術(shù)學

l  顯微鏡和計量學

產(chǎn)品參數(shù)：

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納米級高速大行程壓電馬達平移臺

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該平移臺采用無聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動，促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動，每個循環(huán)的進給為幾個納米，高頻的信號，可以使轉(zhuǎn)子高速的運動。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的zui大速度可達到400mm/s。

理論上壓電馬達平移臺的行程僅取決于轉(zhuǎn)子的長度，因此AU-XLS系列位移平臺可提供的行程范圍可達94mm，采用線性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制，使位移平臺的位移分辨率可達到78nm，在滿足大行程的同時實現(xiàn)了高的精度。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預加力，因此斷電之后平移臺會有自鎖功能，使位移平臺依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量，提高了位移平臺的精度。

此外，由于該平臺采用模塊化設(shè)計，因此該平移臺可以組成多維位移平臺，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。

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