是70年代以來新崛起的一種高能脈沖器件，脈沖寬為微微秒（10-12）秒級，脈沖峰值功率超過千兆（109）瓦，脈沖能量大于100焦耳，脈沖重復頻率每秒幾百次，效率超過10％。雖然脈沖峰值功率比起化學脈沖激光器的1012瓦尚差三個數量級，但從發展來看前途很大。尤其是件的波長大多分布在紫外區，波長又可調，可望在受控核聚變、同位素分離、等離子體診斷、有機物的冷光滑機械加工、星際通信、光武器等方面一展身手。
“準分子”不同于一般的穩定分子，它并不是真正的分子，在自然界的正常狀態中也不存在。準分子是人工制造的一種僅能在激發態以分子形式存在（激發態壽命10-8秒），而在基態（基態壽命10－3秒）則離解成原子的不穩定復合物，也就是說，它在激發態復合成分子，在基態又離解為原子。如惰性氣體原子，外層軌道（殼層）被電子填滿，因此它的原子價為零，一般不與任何原子結合成分子。但當它們一旦受到某種外界激勵處于激發態時，就可以與其他原子結合成一個不穩定分子，習慣上稱作“受激準分子”。當受激準分子從激發態受激躍遷回基態時（準分子離解為原來的原子狀態），通過受激輻射和諧振放大作用就會有激光輸出。這種激光器就叫做“”。
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